【技术】硅片切割胶面崩边问题分析研究

  三。结晶的棒切段所有物

  硅片切段皱纹由牵线和用灰泥涂抹完成的。,灰浆是由金刚砂和切削液按必然相称制成的。,它具有必然的粘度和密度。,现实切削功能是金刚砂颗粒。。牵线缠绕在切段室的导轮四周模型任何人,切段皱纹中,用灰泥涂抹快车道旋转,浆液退场的浆液被包扎在钢WIR方面上。,跟随牵线的旋转,硅块的冲突与摩擦,鉴于金刚砂的莫氏固性,硅的莫氏固性为7。,金刚砂的固性大于硅的固性。,那么起到切段功能。。

  减轻生产费用,小特权细牵线切段已适合出席的切削触摸的发展趋势,但是,鉴于牵线直径的弄细。,泥沙运力会受到引起。;在另一方面,槽豁开减小。,退让扩张,切段面积扩张,这也会加深金刚砂的磨损和断裂。,那么减轻用灰泥涂抹的切削容量。。次要地切段到刀具的地位。,金刚砂使渐进摩擦圆。,切削容量推动减轻,合乎逻辑的推论是,必然会有折腰。,弓丝为5~7mm)。将牵线切段成硅波时,将发生三种培养基。,即硅块、胶层和造型的,鉴于三种培养基的固性清楚的钢线在发生三种培养基时受到应力功能被崩开,形成硅落,发生胶面崩边。另一边三种培养基熔点清楚的,切段皱纹中发生的高温暖热量会使胶层和造型的减弱,引起钢线携砂容量,增大出刀锯痕,通向发生胶面崩边。

  反驳此成绩,可采用的办法是:

  (1)对准出刀工艺品,在硅块切段至出刀地位时提早减轻工作台一步,这将有助于扩张用灰泥涂抹的逆转。,治疗了用灰泥涂抹的抗剪容量缺乏。。

  (2)工作台一步慢。,假设用灰泥涂抹行程大于正常,用灰泥涂抹行程形成的责骂力轻易使钢线崩开形成胶面崩边,合乎逻辑的推论是,在切段皱纹中应适宜的缩减用灰泥涂抹行程。。

  (3)增大用灰泥涂抹在切削皱纹中间的切削容量。,这可以发生找头用灰泥涂抹整修的方法来完成。。通常,在每个锯片切段完毕后停止用灰泥涂抹整修。,为扩张切段黄昏用灰泥涂抹的切段容量,咱们可以选择在每锯切段至90%时整修用灰泥涂抹,这般可以无效减小出刀线弓,减小出刀锯痕和对钢线的功容量。

  4.预洗涤引起

  预洗涤的皱纹是将硅片从造型的上降下决定并宣布,消除粘接面胶条,其次要接近是喷淋-喷淋-超声波洗涤-脱胶-清水冲掉。此皱纹对胶面崩边发生引起的原理包罗:

  (1)喷淋水压。喷淋槽的安博各有两排给戴口套对晶棒停止喷淋洗涤,鉴于硅片为胶面朝上悬挂在预洗涤架子上,若给戴口套的水压大于正常,对晶棒责骂功能大于正常,会形成硅片胶面崩边的发生,合乎逻辑的推论是要保证书水压在要价的漫游内。

  (2)水温引起。脱胶槽水温较低时,胶层未完整减弱,硅片不克不及志愿地从粘接面降下决定并宣布,员工会用手把硅片用力取决定并宣布,极易形成硅片崩边。合乎逻辑的推论是,要保证书脱胶高烧,普通应用乳汁分泌脱胶时高烧漫游为70±10℃。另一边,当硅片从脱胶槽移至清水冲掉槽时,若清水高烧过低,硅片从高烧较高的水生的进入高烧低的水生的时,硅片方面会受到水温形成的应力功能,硅片磁性增大,易形成胶面崩边。

  (3)鉴于出席的通常是分线网切段硅片,每个酒吧通常有两个硅块。,合乎逻辑的推论是,在预洗涤皱纹中,硅缺口将以较劣的的阻力坍塌到正面。,为了皱纹会通向发生胶面崩边。反驳此,它可以用来创造好的广大和广大的硅碎片。,在洗涤先于,它被夹在水晶棒中间。,缩减硅片归属时的倾角。,警戒发生胶面崩边。

  5。总结

  发生对发生胶面崩边的原理停止剖析,可以较好的地处理胶面崩边成绩,增大硅片合格率具有重要意义。。

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